一、原理

　　采用的是分子撞擊式氣體輸送原理，該原理與傳統(tǒng)離心式或正壓式氣體輸送方式不同。具體來(lái)說(shuō)，通過(guò)生成多個(gè)驅(qū)動(dòng)分子束，使得氣體在管道中沿著相同方向運(yùn)動(dòng)，消除了傳統(tǒng)壓力差產(chǎn)生的氣體抗力，從而實(shí)現(xiàn)低壓差、高流量的氣體輸送。

 

　　二、結(jié)構(gòu)

　　平流泵主要由發(fā)生器、排氣器、氣流引導(dǎo)管和控制系統(tǒng)等部件組成。其中，發(fā)生器是核心部件，它包括了多個(gè)聚焦電極和大量特殊材料制成的三角錐形驅(qū)動(dòng)體，通過(guò)加熱和脈沖電壓激勵(lì)的方式，使驅(qū)動(dòng)體產(chǎn)生碰撞，并帶動(dòng)氣體運(yùn)動(dòng)。排氣器則是用于將氣體排出的部件，它通常被設(shè)計(jì)為集成在發(fā)生器內(nèi)部或與發(fā)生器直接相連。氣流引導(dǎo)管則用于引導(dǎo)氣體流動(dòng)，并保持其穩(wěn)定運(yùn)行?？刂葡到y(tǒng)則負(fù)責(zé)對(duì)各項(xiàng)參數(shù)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控和調(diào)節(jié)。

 

　　三、性能

　　相比傳統(tǒng)的壓差式氣體輸送方式，具有許多*的性能特點(diǎn)。

 

　　它能夠產(chǎn)生極低的壓力差，從而減少氣體抗力，提高了氣體輸送效率；

 

　　能夠?qū)崿F(xiàn)高流量的氣體移動(dòng)，這使得它在大型工業(yè)設(shè)備的氣體輸送中具有很好的應(yīng)用前景；

 

　　還能夠處理低密度氣體，如氫氣、氦氣等，在科研領(lǐng)域中也有著廣泛的應(yīng)用。

 

　　四、應(yīng)用領(lǐng)域

　　目前在許多領(lǐng)域中得到了廣泛的應(yīng)用。其中，較大的應(yīng)用領(lǐng)域是半導(dǎo)體制造和電子行業(yè)，在半導(dǎo)體制造過(guò)程中起著至關(guān)重要的作用，能夠?qū)⒏呒兌葰怏w輸送到反應(yīng)室中，以滿足半導(dǎo)體制造的高要求。此外，還可用于真空蒸鍍、光學(xué)薄膜沉積等工業(yè)領(lǐng)域中。在科研領(lǐng)域中，則常用于各種氣體傳輸和實(shí)驗(yàn)室氣體處理任務(wù)。

 

　　平流泵是一種重要的氣體輸送設(shè)備，具有低壓差、高流量、適用于低密度氣體等諸多優(yōu)勢(shì)，在半導(dǎo)體、能源、醫(yī)療和科研等領(lǐng)域中得到了廣泛的應(yīng)用。